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P17探針式輪廓儀臺階儀形貌儀粗糙度儀表面形貌測試

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更新時間：2023-06-30 11:46:26瀏覽次數：384次

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產品簡介

KLA是半導體在線檢測設備市場較大的供應商，在半導體、數據存儲、MEMS、太陽能、光電子以及其他領域中有著的

詳細介紹

KLA是半導體在線檢測設備市場較大的供應商，在半導體、數據存儲、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領域中有著的。P-1 7 是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統，歷經技術積累和不斷迭代更新，集合眾多技術優勢。P-1 7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。它保待了P-17技術的較好測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。P-17可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D洌量，其掃描可達150 mm而無需圖像拼接。P-170 F的載物臺支待300mm直徑晶圓。
從可靠性表現來看， P-17具有比較好的測噩重復性。Ult ra li t e ®傳感器具有動態力控制，良好的線性，和精準的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測噩可以適配大學、研發、生產等不同應用場景。

關鍵詞：檢測設備臺階儀輪廓儀傳感器