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天津瑞利光電科技有限公司
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產品介紹ReflectionDHM是反射配置的全息顯微鏡
Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面(反射率低至1%以下),是對各種樣品進行準確光學形貌測量的理想儀器。
有三種可用配置,由波長的數量和組合定義:
R-1000系列:單激光源
R-2100系列:雙激光源
R-2200系列:三個激光源
產品:瑞士
配置:單激光源
特異性:單波長
測量模式:單波長
分辨率:亞納米
測量:實時
精度(通過在30次測量中對1個像素進行時間標準偏差來證明):0.15 nm
垂直分辨率(定義為精度的兩倍):0.30 nm
重復性(通過在SiC參考鏡上進行30次重復性測量的一sigma Rq值來證明):0.01 nm
垂直測量范圍(無任何掃描):連續結構可達200μm
帶銳邊臺階的高度(取決于激光源和工作波長):max. 333 nm
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