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科賦樂精密儀器(上海)有限公司


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數字質量流量控制器 質量流量計

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產品型號MODEL DF-250C SERIES

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-06-12 09:17:20瀏覽次數:384次

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產品簡介

MODELDF-250CSERIESDF-250系列是一款高性能數字質量流量控制器,可在1秒內(所有區域)實現低于50SLM的響應

詳細介紹

MODEL DF-250C SERIES

DF-250系列是一款高性能數字質量流量控制器,可在1秒內(所有區域)實現低于50 SLM的響應。
該系列提供高達500 SLM的高流量系列。

  • 標準氣體用真實氣體校準
  • ~50 SLM在整個區域內1秒內快速響應
  • 從10SCCM到500SLM的陣容
  • 標準配備通訊功能(RS485)
  • RoHS。符合CE標準

DF-250C標準規范

傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例電磁閥(未通電時關閉)
目標氣體(* 1) N2,空氣,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未描述的氣體是N2當量校準)
空氣,N2
流量范圍(* 2) 10 SCCM到10 SLM 20至50 SLM
(二氧化碳:20至30 SLM)
100,150 SLM 200,300 SLM 400,500 SLM(* 3)
控制范圍 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
響應速度 總流量控制范圍在1秒內
(wihtin±2%F。S.)
1.5秒或更短
10%或更少是3秒或更短
(在±2%F。內)
2秒或更短(±2%FS內)
L:50.149kPa H:150.300kPa L:150.249kPa H:250.350kPa L:200。299kPa(* 9)H:300。350kPa
精度(* 4) ±1.0%F.S. ±2.0%F.S.
再現性 ±0.25%F.S. ±0.5%F.S.
工作壓差(* 5) 50至300千帕
(Ar,CO2:100至300 kPa)
100至300千帕
(Ar,CO 2:150至300 kPa)
150至350千帕 200 SLM:200至350 kPa
300 SLM:250至350 kPa
400 SLM:200至350 kPa
500 SLM:250至350 kPa
入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率(* 6) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
溫度 工作溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲存溫度 -10~60℃
允許工作濕度 10~90%RH (無結露)
氣體接觸材料 SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼,Ni,PTFE,PCTFE,FKM
電氣連接 D-sub 9針KFC標準(符合SEMI標準),
RJ-45模塊化插孔x 2
D-sub 9針KFC標準(符合SEMI標準),
HR-10A×2
流量設定信號 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
流量輸出信號 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
數字通信 使用RS485旋轉開關設置地址:最多99(9600 bps)
所需電源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,
-15 VDC(±5%):150 mA
+15 VDC(±5%):150 mA,
-15VDC(±5%):250mA
24 VDC(±10%):450 mA(DC插孔.D-sub)
接頭(* 7) 1 / 4F 900(標準),1/4 UJR,Rc1 / 4 1/2 SW(標準),3/4 SW
安裝姿勢 推薦水平方向
重量(* 8) 約850g 約1000g 約2250g 約3500g

(* 1)應為干燥氣體,清潔氣體,無腐蝕性成分,灰塵,霧氣等。

(* 2)流量校準單元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下轉換為質量流量cc / min和L / min的值。

(* 3)工作壓力范圍內的輸出流量為1%或更低。

(* 4)流量范圍的精度(滿量程)。

(* 5)工作壓差可能因規格而異。

(* 6)不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa·m3 / sec以下。

(* 7)如需其他接頭,請另行詢問。

(* 8)沒有配件的重量。

(* 9)300 SLM,500 SLM將為L:250。299 kPa。

尺寸圖

(* 8)對于50 SLM或更低,請參考DF-200C尺寸。

接線連接


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