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微鏡陣列

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更新時間：2024-11-11 13:20:06瀏覽次數：66次

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產品簡介

此系列產品為微鏡陣列，即采用微光機電光束偏轉鏡組成的鏡面整列。適用波長可從深紫外至近紅外（DUV to NIR, 193nm~1500nm）。鏡面可由256×256個微鏡面組成，每個鏡面為16um*16um。掃描頻率可達1KHz。可用做圖形的產生，可編程掩膜板等。

詳細介紹

此系列產品為微鏡陣列，即采用微光機電光束偏轉鏡組成的鏡面整列。適用波長可從深紫外至近紅外（DUV to NIR, 193nm~1500nm）。鏡面可由256×256個微鏡面組成，每個鏡面為16um*16um。掃描頻率可達1KHz。可用做圖形的產生，可編程掩膜板等。

Example of micro mirror array for extended spectral range
?256 x 256 micro mirrors
? 16 μm x 16 μm mirror pitch
? Frame rate 1 kHz
? Analogue mirror tilting
? Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm

Applications
?Pattern projection (real time grey levels)
? Programmable masks
? Structured / programmable illumination