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北京美嘉圖科技有限公司
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陰極發光輔助能譜系統
20世紀60年代早期,隨著電子探針的發展,開始使用特征X射線輻射分析礦物標本。這項工作的一個附屬產品是陰極發光觀測,并迅速成為一個非常重要的獨立研究領域,從而促使電子束源向更簡單、顯微鏡式發展,使用冷陰極管作為該電子束源。
冷陰極基礎上的陰極發光儀是能譜分析系統的基礎,正如RELION Ⅲ CL,該類型的電子槍用于陰極發光顯微鏡的附加裝置( CMA )中,是基于冷陰極放電原理,相對電子顯微探針(EMP)和掃描電子顯微鏡(SEM)應用泛,簡單。它還提供了一個中和的環境,所以沒必要使用具有導電涂層的樣品,便于樣品制備。電子轟擊生成陰極發光的過程中會產生X射線。將X射線檢測器用于陰極發光顯微鏡的附加裝置中,結合陰極發光和透光觀測,提供了快速元素分析這樣一種通用功能。
陰極發光儀采用冷陰極的是電子槍,電子槍在冷陰極放電下產生電子束。系統工作氣壓一般在40到100毫托之間即可,當束流高達1mA的時候,電子槍內會產生1到25Kv的電子束。樣品上的散聚焦射束點大約為10mm,點聚焦可以縮小到直徑1mm或更小.
氣壓達到40到100毫托時,真空系統能夠達到穩定值,陰極發光聚焦調節相對簡單,這是已經可以看到陰極發光了。這樣裝置節約了高成本、高真空系統和相應的維修費,同時減少了很多不便之處。真空室能夠自動或手動排除樣品之間的氣體,同時即使多次更換樣品,真空室依然可以在2分鐘或更短的時間內達到工作的狀況。
陰極發光儀及能譜系統主要技術參數如下:
真 空 度:極限為0.25帕,限度保護樣品。
電 子 槍:電子槍是一種水平式冷陰極電子束射線型,高達30 KV,通常使用在5 KV至25 KV之間調節。
陰 極 電壓:0-30KV,過壓保護。
電流:0.15-1mA,連續可測,過流保護。束流可到5mA。
聚 焦:能夠散聚焦到點聚焦的調節功能,電子束光斑可根據樣品適用要求調節。
探測器類型:硅漂移探測器 (SDD)、尺寸7mm2、10mm2,硅厚度500μm;(可選)
能量分辨率:145 eV;
信 噪 比: 8200:1
Be窗 厚度: 12.5um、25μm(可選)
具有以下主要特點:
1:價格實惠。
2: 操作的高速性。
3:操作和維護方便和簡易。
4:采樣準備工作簡捷方便。
5:能夠保持良好的光學顯微鏡的各項能力。
6:對于采樣的顯微照相處理能夠方便實現。
7:具備普通透射光(TRL), 偏振光(POL), 陰極發光(CL)以及EDS的聯合觀測能力。
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