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深圳市利方達科技有限公司
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美國keyhigh PEV-1壓電閥（PEV-1 PIEZOELECTRIC G...
PEV-1 壓電閥主要技術特點：
1、控制模式：開環控制和閉環控制
2、易于集成：可與國產自動壓強控制儀配套使用，來實現閉環控制，達到穩定壓強的目的，
同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數：
閥門類型： 壓電晶體
可控制的氣體： 兼容各種材料
流量范圍： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
響應時間： 2微秒
進氣壓力： 50 PSI
驅動要求：電壓： 0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不繡剛，氟橡膠，特富龍，
陶瓷片
進氣和出氣連接： 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接： 標準BNC
重量： 800克
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