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深圳市利方達科技有限公司
根據使用需求,選型定做 為你提供更適合更的陰極及靶材...
美國Angstrom Sciences公司 濺射陰極及靶材
美國安斯超科學公司(Angstrom Sciences,Inc)成立于1988年,,是一家
專業從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專業公司,專利
的磁場設計和的水冷技術使其產品倍受歡迎。安斯超公司對磁控濺射
靶陰極的磁體外形和冷卻循環結構進行了科學合理地優化設計,并且選取
更強的磁體(比稀土磁體強30%),從而使安斯超的靶陰極比常規的靶陰
有更為的性能。
核心技術及特點:
特殊設計的磁體結構,使得磁場線跨度范圍更寬,從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性湍流冷卻技術,使得水流能夠更平緩的進入陰極,從而提高冷卻效果
特殊設計的耙材固定結構,使得耙材更換起來更簡單,降低停工期的磁體材料 NdFeB,他的強度比其他的稀土磁體要強30%
的靶材利用率,可以達到50%,從而降低靶材成本的產品均勻性,可以達到±3%
可以在更低的真空以及更高的功率下運行:壓力可以達到10-4TOR直接水冷結構可以提高其功率密度達到250Watt s/in2
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