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場發(fā)射掃描電鏡
SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
的鏡筒設(shè)計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。

電子槍類型

高亮度肖特基
場發(fā)射電子槍

分辨率

1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

加速電壓

20 V ~ 30 kV

樣品臺

五軸全自動樣品臺

產(chǎn)品特點(diǎn)

01

分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像

02

電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

06

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	1.0?nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV
	加速電壓	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	電子槍類型	高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室	真空系統(tǒng)	全自動控制，無油真空系統(tǒng)
	攝像頭	雙攝像頭（光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控）
	行程	X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360°
探測器和擴(kuò)展	標(biāo)配	鏡筒內(nèi)高角度電子探測器側(cè)向低角度電子探測器
探測器和擴(kuò)展	選配	平插式中角度背散射電子探測器 STEM自動伸縮式掃描透射探測器樣品交換倉高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光高低溫原位拉伸臺納米機(jī)械手大圖拼接
軟件	語言	中文
	操作系統(tǒng)	Windows
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散