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日本愛發(fā)科ULVAC膜片干式真空泵DA-121D維修保養(yǎng)特性:膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空
日本愛發(fā)科ULVAC膜片干式真空泵 DA-121D維修保養(yǎng)
特性:
膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵機結構采用無油環(huán)境設計，因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
應用：
? 真空吸盤，薄片與端頭處理裝置。
? 真空鑷子，科研。
? 印刷設備
? 自動打包設備
? 光學儀器
? 半導體工業(yè)
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