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氣體流量控制器

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產(chǎn)品簡介

一、氣體流量控制器產(chǎn)品概述采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu) 勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕

詳細(xì)介紹

一、氣體流量控制器產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。