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上海納嘉儀器有限公司
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測試速度：＜1sec（快速測試模式）＜120sec（高分辨率測試模式）測量光譜分辨率：＜0.5nm@633nm（高分辨率測試模式）＜0.8nm@633nm（快速測試模式）光譜范圍：193nm-2500nm
測試速度：＜1 sec （快速測試模式）
＜120 sec （高分辨率測試模式）
測量光譜分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率測試模式）
＜0.8nm@633nm （快速測試模式）
光譜范圍：193nm-2500nm，UV-VIS-NIR不同波長范圍可選
樣品尺寸：標準200mm直徑，可選 300mm
厚度測量范圍：0.01nm-50um
厚度測試精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率測試精度：0.002 @120nm SiO2 on Si
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