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深圳市中圖儀器股份有限公司


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光動激光干涉儀精密測量SJ6000中圖儀器(chotest)

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產品型號SJ6000

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更新時間:2023-04-18 15:42:45瀏覽次數:543次

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產品簡介

中圖儀器研發生產的SJ6000光動激光干涉儀因為采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,所以可以實現高4m/s的測量速度,以及納米級分辨率的精密測量,是集光、機、電、計算機等技術于一體的國產激光干涉儀

詳細介紹

中圖儀器研發生產的SJ6000光動激光干涉儀因為采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,所以可以實現高4m/s的測量速度,以及納米級分辨率的精密測量,是集光、機、電、計算機等技術于一體的國產激光干涉儀。

SJ6000光動激光干涉儀線性測量
原理:邁克爾遜干涉原理
1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);
2、兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;
3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。
 
線性測量的光路原理構建圖

產品參數
產品型號:SJ6000
產品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩頻方式:雙頻激光熱穩頻
穩頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便

線性測量配置
配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。
 
應用
SJ6000光動激光干涉儀廣泛應用于機床、精密機械設備、三坐標、機器人、自動化設備、線性位移平臺、3D打印設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
 

 

關鍵詞:激光干涉儀

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