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深圳市科晶智達科技有限公司


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PPM 級雙柱惰性氣體凈化器

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更新時間:2023-06-01 19:29:14瀏覽次數:258次

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產品簡介

GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器(一個用于除氧另一個用于除水),兩個凈化器用1/4"不銹鋼管和兩個針閥連接在一起,可以與任何科晶混氣系統連接

詳細介紹

GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器(一個用于除氧另一個用于除水),兩個凈化器用1/4"不銹鋼管和兩個針閥連接在一起,可以與任何科晶混氣系統連接。在室溫下,它將氣態雜質降低到ppm級。它可將99.9%純度的惰性氣體如(氮、氦、氖、氬、氪、和氙)中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm,以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設備帶有加熱功能,可以加熱到300℃對除氧除水單位進行再生,方便長期循環使用。

性能指標和基本配置
產品特點

● 輸入:輸入氣體純度要求:<1000 ppm(99.9%)
● 輸出:清除雜質至<0.1 ppm(O2≤0.1 ppm H2O,-76℃露點溫度)(請點擊此處轉換濕度單位)
● 304L不銹鋼罐(<10 Ra EP)
● 3再生操作簡單方便
● 內置數字溫度控制器和氣體流量計控制
● 再生后可凈化多達80L惰性氣體
● 設備需在270℃下再生(需使用5N純度的95%N2 + 5%H2氣體)

電源 ● 220v 50Hz
● 功率:500W(加熱過程中)
壓力輸出

0.5MPa

工作溫度

室溫-300℃

氣體泄漏率

<2 x 10-9 atm cc/sec He

溫度控制器

控溫精度±1 oC

氣流

400mL/min

外形尺寸

445mm L X 400mm W X 190mm H

質量認證

CE認證

使用提示

● 您可以選購精密質子流量計,輸入氣體更加準確(圖一)
● 此系統可以和本公司所有的管式爐和CVD系統相連接(圖二)
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圖一 圖二

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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