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深圳市科晶智達科技有限公司


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SKJ-LCZ 懸浮提拉晶體生長爐

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更新時間:2022-12-07 14:36:36瀏覽次數:501次

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產品簡介

SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶體生長爐(采用懸浮熔煉對金屬樣品熔化,溫度可達2000℃)

詳細介紹

SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶體生長爐(采用懸浮熔煉對金屬樣品熔化,溫度可達2000℃)。此系統采用組成:高頻感應加熱電源,高真空腔體,水冷銅坩堝(懸浮熔煉)和精密提拉機構。懸浮熔煉避免了坩堝的污染,可得到高純度的金屬(合金)單晶。

性能指標和基本配置
設備結構

● 40KW感應加熱電源,用于懸浮熔煉
● 特殊設計水冷銅坩堝,可熔煉60g樣品
● 高真空腔體,真空度可達10-6torr(采用分子泵系統)
● 精密可旋轉(籽晶桿可旋轉)提拉機構,提拉速度為0.1mm/h-24mm/h

感應加熱電源

● 功率:40KW
● 頻率 :80-200KHz
● 電流:10-100A
● 電壓: 380V +/-10% , 三相, 50/60Hz
● 水冷卻:水壓 ≧0.2MPa 水流量: ≧10L/min

水冷銅坩堝

● 坩堝尺寸: Φ35mm* 60mm
● 熔煉量: 60g
● 需冷卻水流量: 58L/min

提拉機構

● 提拉速度: 0.1-24mm/h
● 籽晶桿轉速: 0.03-50r/min
● 提拉行程: 250 mm
● 可快速手動提拉
● 提拉桿內部有水冷卻

真空腔體&真空泵

● 采用SS304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層
● 腔體尺寸: Φ400x 40 D mm
● 石英窗口: Φ300mm
● 真空度: 10-6 Torr (采用分子泵系統)
● 真空泵: 分子泵體統,抽氣速率700L/S

循環水冷機

● 設備所需冷卻水流量≧110L/min
● 可在本公司選購循環水冷機

質量認證

CE認證
1

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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關鍵詞:生長爐 真空泵

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