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深圳市科晶智達科技有限公司


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SP-MSM-4CZ 4電弧提拉法單晶生長爐

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更新時間:2022-12-04 15:43:02瀏覽次數:537次

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產品簡介

SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃

詳細介紹

SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

性能指標和基本配置
腔體

● 采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水
● 腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品
● 腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)
● 腔體尺寸:Φ257*360mm
1 1

真空計

腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表
1

電弧槍

● 共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)
● 鎢電極直徑為Φ4mm
● 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節
● 起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V
● 熔煉溫度可達3000℃
1 1

樣品臺

● 采用水冷銅坩堝
● 可投如樣品量為60g(按鐵計算)

提拉機構

● 控制器控制提拉機構的提拉速度,轉速和轉速
● 提拉速度:0.2-10mm/h
● 提拉行程:0-70mm
● 轉速:0-40RPM

控制單元

可顯示和設置單晶生長的參數(起弧電流,提拉桿轉速,提拉行程和轉速)

真空泵

● 設備中配有一分子泵系統(機械泵+渦旋分子泵)
● 抽氣速率:100L/S
● 可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內)
1

循環水冷機

● 功率:800W
● 水流速度:58L/min
● 制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
● 溫度控制:5~30 °C

設備尺寸

800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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