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日立超高分辨率冷場發射掃描電子顯微鏡

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更新時間:2023-04-20 16:17:11瀏覽次數:279次

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產品簡介

日立超高分辨率冷場發射掃描電子顯微鏡現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100

詳細介紹

日立超高分辨率冷場發射掃描電子顯微鏡現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的性能。


日立超高分辨率冷場發射掃描電子顯微鏡樣品圖示

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

 

  • *2

  • Regulus8240/8230/8220


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