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多路浮子控制供氣系統GSL-3F 水冷系統

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產品簡介

多路浮子控制供氣系統GSL-3F

詳細介紹

產品簡介：多路浮子控制供氣系統GSL-3F適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以置于其上，可用于CVD系統及退火爐，可用來研究氣體環境對材料的影響。

產品型號

多路浮子控制供氣系統GSL-3F

主要特點

1、適用于低壓小流量，多種氣體的單一或混合連續供氣。

2、尤其方便多種氣體切換使用，而不造成大氣進入加熱管。

3、每條氣體管路均有一個高壓截止閥，有效確保安全。

4、氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，實用、簡便。

5、流量顯示準確，可有效控制氣體的消耗量。

6、所有儀表及閥門均采用活接頭連接，便于維修和拆卸。

技術參數

1、氣路通道：三通道（可根據需要設計通道）

2、氣路流量控制器：浮子流量計

3、標準量程：10-100ml/min，16-160ml/min，25-250ml/min

4、接口：Ø6.35mm

5、截止閥：Ø6.35mm

6、不銹鋼管：外徑Ø6mm×內徑Ø4mm

7、混氣罐：Ø80mm×140mm

8、壓力真空表：-0.1MPa-0.15MPa，0.01MPa/grid

9、工作環境：5℃-45℃，高純氣體

關鍵詞：高壓截止閥流量控制器浮子流量計截止閥

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