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SE-Mapping光譜橢偏儀

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更新時間：2022-11-06 15:20:34瀏覽次數：309次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

SE-Mapping光譜橢偏儀

詳細介紹

產品簡介：SE-Mapping光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，采用行業前沿創新技術，配置全自動Mapping測量模塊，通過橢偏參數、透射/反射率等參數的測量，快速實現薄膜全基片膜厚以及光學參數自定義繪制化測量表征分析。SE-Mapping光譜橢偏儀廣泛應用OLED，LED，光伏，集成電路等工業應用中,實現大尺寸全基片膜厚、光學常數以及膜厚分布快速測量與表征。

產品型號	SE-Mapping光譜橢偏儀
主要特點	1、全基片橢偏繪制化測量解決方案 2、支持產品設計以及功能模塊定制化，一鍵繪制測量 3、配置Mapping模塊，全基片自定義多點定位測量能力 4、豐富的數據庫和幾何結構模型庫，保證強大數據分析能力 5、采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm) 6、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現Psi/Delta光譜數據高速采集 7、具備全基片自定義多點自動定位測量能力，提供全面膜厚檢測分析報告 8、數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料
技術參數	1、自動化程度：固定角+ mapping 2、應用定位：檢測型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光譜 4、分析光譜：380-1000nm(可擴至193-2500nm) 5、單次測量時間：0.5-5s 6、重復性測量精度：0.01nm 7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,微光斑200um 8、入射角調節方式：固定角 9、入射角范圍：65° 10、找焦方式：手動找焦 11、Mapping1程：300x300mm 12、支持樣件尺寸：至300mm
可選配件	3	真空泵
	4	透射吸附組件