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更新時(shí)間:2022-09-12 15:46:20瀏覽次數(shù):214次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀
產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達(dá)50mm,鍍膜厚度可達(dá)300Å,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài); 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀體積小,操作簡單,適合用于實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小樣品的鍍膜使用。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀 | ||
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16 | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得的鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。 6、已通過CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:220V 2、總功率:<2000W(包括真空泵) 3、真空室:Ø160mm×120mm 4、樣品臺(tái):Ø50mm,且高度可調(diào),可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜 5、max均勻鍍膜:Ø45mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:400mm×300mm×400mm;重量:30kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |
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