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箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機 DH500ZZS

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更新時間：2022-11-17 17:04:10瀏覽次數(shù)：347次

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產(chǎn)品簡介

DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機主要特點為功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機.DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機.DH500ZZS電子束蒸發(fā)鍍膜機.DH500ZZS電子束蒸發(fā)鍍膜機.DH500ZZS電子束蒸發(fā)鍍膜機

詳細介紹

DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機

DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。其主要特點為功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。

主要技術(shù)參數(shù)

1、鍍膜室體積：500×500×600mm³，特殊規(guī)格可定做；

2、極限真空度：6.7×10^-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7×10^-4 Pa ≤（40分鐘）；

3、真空抽氣系統(tǒng)：機械泵與復(fù)合分子泵組成；真空測量系統(tǒng)：復(fù)合數(shù)顯真空計；

4、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0～6KW可調(diào)；

電阻蒸發(fā)源：銅水冷電極4根，功率：3kW/10V兩組；

5、結(jié)構(gòu)形式：立式前開門后置抽氣系統(tǒng)；

6、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）；

7、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r～30r/min 無級可調(diào)；

8、選配件：光學膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；

9、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機功率22KW。

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