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北京卓立漢光儀器有限公司


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半導體晶圓微操作、檢驗設備

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更新時間：2022-10-11 15:28:45瀏覽次數：288次

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產品簡介

此系統是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發平臺。系統中包括：半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元，配套有完整的運動控制系統和機器視覺軟件。可以根據客戶不同的需求，實現對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉印、清潔、檢驗等功能。

詳細介紹

產品概述

 

說明：

此系統是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發平臺。系統中包括：半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元，配套有完整的運動控制系統和機器視覺軟件。可以根據客戶不同的需求，實現對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉印、清潔、檢驗等功能。

半導體晶圓微操作、檢驗設備特點：

  • 系統包含完整的裝夾和對位結構，可以根據客戶實際需求定制
  • 控制系統和機器視覺系統留有二次開發接口
  • 兼容客戶不同的晶圓結構，不同的Mark點圖形、進行不同的操作動作
  • 可對半導體晶圓進行多維度微步調整
  • 多工位配置，提高工作效率

系統參數：（本系列產品為設計規格，技術指標以最終發布內容為準）
 

指標

參數

機器視覺分辨率(μm)

0.1

顯微鏡倍率

0.5~4.5

攝像頭分辨率

2048×1536

幀率（fps）

15

攝像頭類型

單色

光源

單色同軸光源

Mark點識別重復性(μm)

0.1

Mark點識別對位精度(μm)

<0.5

大行程X軸滑臺行程（mm）

400

大行程Y軸滑臺行程（mm）

200

大行程重復定位精度（μm）

1

大行程運動分辨率（μm）

±1

精密對位X軸滑臺行程（mm）

10

精密對位Y軸滑臺行程（mm）

10

精密對位Z軸滑臺行程（mm）

20

精密對位線性維度單向重復定位精度（μm）

±1

精密對位線性運動分辨率（μm）

0.1

精密對位θZ軸滑臺行程（°）

5

晶圓工位（個）

2

晶圓真空吸附通道（路）

4
 
 


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