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束倫(上海)技術服務有限公司


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高分辨場發射掃描電子顯微鏡

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更新時間:2023-06-17 16:30:01瀏覽次數:180次

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產品簡介

性能指標電鏡分辨率:1.5nm@15kV

詳細介紹

性能指標

  1. 電鏡分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm @ 5kV
  2. 加速電壓: 500V~30kV
  3. 束流大小: 20nA
  4. 電鏡物鏡模式: 磁浸入模式UHR、無磁場模式HR
  5. 電鏡檢測器: 高真空二次電子檢測器(SE)、極靴內二次電子檢測器(TLD)、極靴內背散射電子檢測器(TLD-B)、四分固體式背散射電子探測器(BSE)、樣品室紅外CCD探測器
  6. 能譜分辨率: 129eV(Mn Kα) 能譜元素檢測范圍: B5~U92 

主要應用

  1. 固體樣品的微觀形貌、結構,樣品的微區元素成份及線分布、面分布,廣泛應用于納米技術、材料、物理、生物、化學、熱能、地球科學、環境、光電子等領域。
  2. 粉末、微粒樣品形態的測定 金屬、陶瓷、礦物、水泥、半導體、紙張、塑料、食品、農作物、細胞等材料的顯微形貌分析 復合材料界面特性的研究 材料中元素定性分析、定量分析、線分析、面分析 材料及電子器件失效分析 

樣品要求

  1. 樣品中不得含有鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)。
  2. 樣品不得具有磁性,并且不易被磁化。
  3. 樣品中不得含有水分。
  4. 樣品高度小于15mm,直徑小于30mm。
  5. 多孔類或易潮解的樣品,請提前真空干燥處理。
  6. 樣品應具有導電性。
  7. 若樣品不導電,需要進行鍍金、碳等導電膜的處理(提供鍍膜服務,但需要另行收費)。

 

儀器說明

  1. 儀器名稱:高分辨場發射掃描電子顯微鏡硅漂移探測器能譜儀 Field-emission Scanning Electron Microscopy & Energy Dispersive Spectrometer
  2. 儀器型號:Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS) 儀器縮寫:SEM
  3. 生產廠家:美國FEI公司& 英國Oxford公司
  4. 安裝日期:2005年
  5. 關鍵詞:掃描電鏡 SEM 能譜儀 EDS 微觀形貌 表面形貌 元素成分 元素分布
  6. 儀器簡介: Sirion 200型掃描電子顯微鏡具有超高分辨率,該儀器能實現對各種固態樣品表面形貌的觀察,獲得表面形貌的二次電子像、背散射電子像。
  7. 該儀器配備的x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量分析。 

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