等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激發區
本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能， 的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。
2：低溫等離子體激發
本工藝有40支至240支充有氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術， 諸多機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體， 大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能，所以低溫等離子體作為原子激發是 理想的一種能。在實踐應用中，較大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內充什么樣的氣體 有經濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。
極板區
根據被處體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。
根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，經山東、江蘇、浙江三地多家醫藥、化工企業的實地測試，原廢氣的去除率非常理想，根據尼普公司的測試，廢氣去除率可達84%以上。
電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量 小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用， 去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
低溫等離子廢氣凈化器簡單判斷方法
現在，各傳媒上宣傳低溫等離子廢氣凈化的產品和技術很多，可這些產品的宣傳大部分都是在炒低溫等離子體概念。如何判斷是否是 意義上的低溫等離子體技術？可以用下面兩個簡單的規則來判斷，即使你不懂低溫等離子體技術也能判斷出是真是假。
(1) 在廢氣凈化的通道上 充滿了低溫等離子體。這條規則判斷很簡單，只要用眼睛觀察一下處理通道是否充滿紫藍色的放電就可以直觀的了解是否是低溫等離子體了（需要注意的是不要將各種顏色的燈光當作電離子體放電）。如果在廢氣處理的通道上只零星的分布若干的放電點或線，則處理的效果是非常有限的，因為，大部分的(VOCs)氣體沒有進過低溫等離子體處理區域。
(2) 低溫等離子體處理系統 要有 的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風量需要處理的電功率為2KW～5KW。如果號稱1000米3/時的風量只需要幾十或幾百瓦的電功率，則多也就是靜電(除塵)處理或局部處理而已。要想分解VOCs沒有 的能量是不可能的。
低溫等離子體廢氣凈化器的安裝。
1、輸入電源 與凈化器所用電源相符，嚴禁輸入電源與凈化器所用電源不符，且凈化器箱體 接地，以 ；
2、化器進風口 安裝變徑導風分流管(內設百葉式分流片，每片間距100MM)，使廢氣平均分布進入低溫等離子體凈化器的各處理室，提高凈化器使用率和處理效果；
3、在安裝低溫等離子體廢氣凈化器 留有足夠空間用來打開凈化器的門艙和電控蓋，方便維護，檢修及清洗；
4、為 ，廢氣凈化器安裝在室外， 對凈化器的電控電源加蓋保護，以防雨水及陽光損壞電控電源而導致發生事故；
5、凈化器需拆散搬運安裝時， 由 人員根據原有裝配規范操作組裝，嚴禁有雜物或砂塵進入內部處理室，并檢查內部件是否牢固；
6、選擇低溫等離子體廢氣凈化器安裝位置時，要求與污染源保持5米以上距離，抽風機與凈化器保持在6米以上距離較為合適，并加設減振套以防影響凈化器工作。
