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北京中科匯儀環保科技有限公司
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德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀 EddyCus® TF inline - 用于過程控制的非接觸式薄層電阻、層厚度和電各向異性測量解決方案，直列串聯措施層性能，如金屬層的厚度，片電阻，發射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。 ......
德國SURAGUS EddyCus® TF inline - 用于過程控制的非接觸式薄層電阻、層厚度和電各向異性測量解決方案，直列串聯措施層性能，如金屬層的厚度，片電阻，發射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。
德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品簡介：
EddyCus TF直列串聯措施層性能，如金屬層的厚度，片電阻，發射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。
相關基材是玻璃、箔、紙、晶片、塑料或陶瓷。
監測是通過測量或觸發事件來完成的，以便在快速移動的涂層過程中獲得等距的結果。
監測解決方案可以在大氣或真空條件下實施。使用渦流技術的過程受益于高采樣率。
可以使用客戶的軟件為過程控制系統提供測量結果。
此外 SURAGUS 還提供監控軟件 EddyCus EC Control，可對計量數據進行可視化、存儲和分析。
德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀傳感器類型：
. EddyCus TF inline SR – 薄層電阻監測(包括發射率)
. EddyCus TF inline MT – 金屬厚度監測
. EddyCus TF inline RM – 電阻率和電導率監測
. EddyCus TF inline HF – 殘留水分監測
. EddyCus TF inline A – 薄層電阻和電各向異性監測；
德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品特點：
. 非接觸式實時測量
. 測量速度高達 1,000 次測量/秒。
. 固定式傳感器安裝或橫向傳感器安裝
. 每個系統集成 1 – 99 個監控通道
. 在大氣或真空中進行過程控制
. 在許多應用中可以非常靠近基板邊緣進行測量
. 在不斷變化的環境中通過溫度補償測量實現長期穩定性
. 到測試材料的大距離(例如 60 毫米/2.4 英寸的間隙)
. 覆蓋導電層或封裝基板的表征
. 眾多軟件集成分析統計功能
. 通過 EddyCus RampUp 軟件輕松設置，包括。系統校準向導
. 無磨損
德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品應用：
. 建筑玻璃(LowE)
. 包裝材料
. 顯示器和觸摸屏
. 光伏(薄膜和 c-Si)
. 鏡面鍍膜
. 電容器
. OLED 和 LED
. 智能玻璃
. 金屬層和晶圓金屬化
. 除冰和加熱
. 電池和燃料電池
. 涂布紙和導電紡織品
. 石墨烯層
. 抗菌涂料;
德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀技術參數：
. 測量范圍
薄層電阻：0.1 mOhm/sq 到 1 kOhm/sq
金屬厚度：2 nm – 2 mm(取決于材料導電性)
電阻率：0.1 mOhm cm – 5 ohm cm
殘留水分(通過非接觸式介電常數測量在濕層中測量)
電各向異性：0.33 至 3(可根據要求提高)
相關屬性
克重：0.1 至 1,000 克/平方米
發射率：0.005 至 0.2
. 設置
內聯 R2R
內聯 S2S
集群工具
集成到處理區域
透射和反射設置
流程
沉積(PVD、ALD、(PE)CVD、電鍍、印刷、噴涂等)
燒蝕/結構化(蝕刻、拋光、激光等)
摻雜/植入
回火/退火
干燥/加熱
傳感器外形尺寸(所有測量類型)
傳感器 S(多種選擇)
傳感器 S - 半真空(限真空)
傳感器 M
傳感器 XS
定制形式(多傳感器)
接口
TCP、UDP
Modbus
CSV、XML
模擬、數字
網
環境
大氣層
真空
ATEX
可應要求提供高溫版本
接線設置
靠近傳感器位置的控制柜安裝
直接安裝工具安裝在傳感器位置附近
全傳感器集成硬件;
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