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英國MICHELL Pura高純氣露點變送器露點儀

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更新時間：2023-07-13 09:17:41瀏覽次數：101次

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產品簡介

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。 ......

詳細介紹

儀器詳情
儀器參數

儀器詳情Particulars

中科匯儀網 .cn 從事進口儀器儀表銷售，我們提供豐富的進口儀器儀表種類、有競爭力的產品價格及良好的售后服務。

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產品簡介：

在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的初個適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產品特點：

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)

測量穩定，重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設計緊湊小巧

顯示/報警單元可選

中科匯儀網專業進口檢測儀器供應商，為您提供檢測儀器解決方案，您可在.cn了解更多的產品介紹，也可通過致電我司銷售工程師咨詢產品詳細參數、價格、及使用方法。

儀器參數Technical data

中科匯儀網，我們會努力按照原廠技術參數翻譯編輯，如技術參數中英文有差異，以英文參數為準。

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器技術參數：

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	低至10-9 torr; 大到24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到28 V , 大電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態	標準輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障; 20mA=超上限; 4mA=超下限
機械性能
傳感器套筒		不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光
氣路連接端口		Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置		Premium 或 OEM 型: 120.00mm長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙；底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm； Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中。
尺寸		Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量		Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g
包裝		Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作