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Quantum Design China(Beijing)


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納米精度六軸位移臺-hexaCUBE

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更新時間:2022-09-16 17:25:06瀏覽次數:304次

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產品簡介

hexaCUBE位移臺是德國attocube公司生產的能夠提供六個維度高精度移動樣品的集成位移系統。產品在保證優異位移精確度與穩定性的同時真正實現樣品六個維度的自由移動,適用于大氣,高真空到超高真空環境,行程可達15mm。最小步50nm,最小傾角變化1μrad。產品十分適合為需要多維度高精度定位的實驗提供幫助。

詳細介紹

設備特點


+ 六維度自由移動

+ 厘米級行程,納米級精度的位置控制

+ 閉環位移器,機械穩定性

+ 50 nm 線性移動精度,1 μrad 傾角精度

+ 特殊材質,兼容各種光學環境與超高真空環境

+ 軟件全自動操控


高穩定性


行程1mm范圍,高度可重復性


行程1mm范圍,誤差小于50nm


小范圍內,誤差小于10nm



標準配件


AMC100位移控制器


+ 同時控制六個方向位移;

+ 結合attocube專門開發的

hexaCUBE控制軟件;

+ 兼容Labview;


基本參數


產品型號

hexaCUBE190

適用環境

1atm/HV/UHV

位移器尺寸

190×180×105 mm3

負載

700 g

中心孔距

26 mm

行程

線性x方向 ±15 mm

線性y方向 ±15 mm

線性z方向 ±20 mm

傾角x方向 +33/-19°

傾角y方向 ±21°

傾角z方向 ±19°

精度

線性x,y,z方向 50nm

傾角x,y,z方向 1μrad

材質

鋁,不銹鋼,塑料





應用軟件


+ 界面直觀

+ 六維度點對點控制

+ 布局合理

+ 精確控制




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