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上海百賀儀器科技有限公司
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江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100的方案介紹：奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量
| 主機 | |||
| LSM 部分 | 光源、檢出系統 | 光源：405 nm 半導體激光 檢出系統：光電倍增管 | |
| 總倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 變焦 | 光學變焦1x ～ 8x | ||
| 測量 | 平面測量 | 重復性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正確性 | 測量值的±2%以內 | ||
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 內置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移動分辨率 | 10 nm | ||
| 顯示分辨率 | 1 nm | ||
| 重復性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正確性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測量長度μm） | ||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢查系統 | 光源：白色LED， 檢查系統：1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD | |
| 變焦 | 數碼變焦1x ～ 8x | ||
| 物鏡轉換器 | 6 孔電動物鏡轉換器 | ||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 內置偏振光片單元 | ||
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 專用平面復消色差透鏡20x、50x、100x | ||
| Z 對焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 載物臺 | 100×100 mm（電動載物臺）， 選件: 300×300 mm（電動載物臺） | ||
此設備為專為在工業環境下實施檢測設計的A 類設備。如在住宅區內使用可能會干擾其他設備。
| 物鏡 | ||||
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（WD） | 數值孔徑（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |
可以測量輪廓截面上任意兩點之間的高低差異。
輪廓測量也同樣可用
可以測量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。
根據設置在輪廓截面上的任意閾值，可以測量其上部或下部的體積。
可以通過分離功能使粒子自動分離，設置閾值，根據ROI 設置檢測范圍。
可以測量影像上任意兩點之間的距離。還可以測量任意區域的面積。
可以根據測出的對焦位置，測量透明介質的膜厚。
可以自動尋邊，測量線寬和圓，減少人為的測量誤差。
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