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更新時(shí)間:2024-02-02 13:22:15瀏覽次數(shù):136次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線The IG20 features a high brightness electron impact gas ion source which is designed specifically for oxygen capability but is also suitable for use with inert and other gases.
Hiden IG20 Ar/O2離子槍(Ion Gun),的離子槍,配合SIMS進(jìn)行材料表面和深度的分析。
·靜態(tài)、動(dòng)態(tài)SIMS
·俄歇電子譜
·離子束濺射
·表面科學(xué)研究
·光柵/ 深度分析
·具有100μm光斑直徑的、0.5~5 keV能量的強(qiáng)離子束
·高電流密度4.5 mA/cm2
·電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
·掃描線散射和離子束光柵的光學(xué)調(diào)整功能,用于深度分析
·離子槍的3°偏移量,用于中性粒子的排斥
·在光柵應(yīng)用中,束消隱裝置可以快速進(jìn)行束的轉(zhuǎn)換
·差式泵源減少室內(nèi)氣體
·便于更換的雙燈絲
·掃描速度可低至64μs
·與SIM 和EQS 探針一起,可以直接進(jìn)行光柵速率/區(qū)域控制
·能量范圍: 500eV ~ 5KeV
·電流: 800nA
·最小光斑尺寸: 50μm
·離子源壽命: >1000小時(shí)
·法蘭規(guī)格: 斜楔法蘭DN-35-CF
·氣源壓力: 0.1~0.5bar至一個(gè)大氣壓
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