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蘇州華陸儀器儀表有限公司


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空氣質量流量計

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產品型號HLMFM3,6,8,10,12

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更新時間:2022-11-01 16:07:07瀏覽次數:381次

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產品簡介

空氣質量流量計產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節,感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升,ml/min級的微流量測控,空氣質量流量計實現微小流量測量的數字化。

詳細介紹

空氣質量流量計

質量流量計傳感器采用微機械加工技術,微小質量流量計實現微小流量測量,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,微小質量流量計測量精度高,無需要溫度壓力補償,微小質量流量計廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理:

感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態響應時間大大提高,當傳感器工作時,微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

產品特點:

·產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現微小流量測量的數字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優化設計,智能化的數據處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現了計量的準確、可靠

·結構的優化,流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術,使流量計工作更穩定、可靠

·開創零點自校功能,測量更準確

·多種氣體實際標定,全量程補償

·快速響應、數據自動存儲,配合上位機可實現網絡集中管理

·規格齊全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定

·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能,使監控更可靠

·操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數

·運用行業多,是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選

技術參數:

·測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

·測量管徑:DN3,4,6810,12,18

·流量范圍:20、30、50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準確度:±1.5%FS

·工作溫度范圍:-25-55

·工作壓力范圍:0.3MPa0.6MPa1.0MPa,3.0MPa

·供電電源:24VDC±10%

·輸出信號:4-20mARS485通訊

·環境溫度:-25-55

外觀尺寸

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

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