設備特點
此款1700℃高溫CVD系統，是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統（或選配低真空系統）所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠，溫場均勻，結構合理，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡單、方便；設備的各項技術參數，30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。
加熱區參數 | 爐管尺寸：Φ60/80×1000mm（管徑可選） 加熱元件：硅鉬棒 加熱區長度：300mm 推薦升溫速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 額定功率：5.2 KW 外型尺寸：610×440×720 mm 標準配件：高純剛玉管1支，氧化鋁管堵2對，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個； 密封系統：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭） 端口可按實際使用擴展。 |
氣路系統參數
| 質量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計。 |
低真空系統參數
| 國產油泵型號：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：ZJ-52T電阻規， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W 采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。 |
高真空系統參數
| 空氣相對濕度：≤85% 工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系統整體極限真空度：10-5Pa 實驗真空度：10-3Pa 外形尺寸：850×600×650mm 機械泵: 抽氣速率：10m3/h 容油量：1.1L 電機功率：400W 極限壓強：6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率：100L/S 極限壓強：6×10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。 分子泵控制器: 電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ Z大輸出功率：≤150W Z大加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復合真空計: 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數 規管型號：ZJ-52T電阻規 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號：ZJ-27電離規 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4路 控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% 連接管路: 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s 采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。
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備注： | 可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。 |
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