名稱

1200℃小型三溫區開啟式管式爐OTF-1200X-III-S

爐體結構

采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，是表面溫度低于70℃。

高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）。

可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內潔凈度及真空度（圖三、四）。

設有開門斷電功能，提高實驗安全性（圖五、六）

圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六

基本參數

熱偶：K型熱偶 建議升溫速率：≤10℃/min。

溫度：1100℃ （1200℃<1h） 電源：AC220,50Hz 功率：5KW

高純石英管尺寸

以下高純石英管尺寸可選：

φ25 φ50 φ60 φ80 φ100 Φ130

加熱區

加熱區長度：600mm（三溫區：150mm+300mm+150mm）

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

密封法蘭

一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環包括在內。

兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上（圖一）。

一個真空壓力表安裝在一側法蘭（圖一）。

可選：您可以選購KF25真空法蘭（圖二）。

可選：您可以訂購法蘭支架（圖三）。

可選：鉸鏈法蘭（圖四、五）

圖一 圖二 圖三 圖四 圖五

溫控系統

包含一款YD518P型溫度控制器。

PID自動控溫系統。

智能化30段可編程控制。

控溫精度：±1℃。

三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制。

默認DB9 PC通信連接端口。

通過MET認證

可選購電腦溫度控制軟件（用于YD518P系列控制器）用于控制升溫曲線和導出數據。

溫度校準（可選）

定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括：

48"L（1/4" OD）K型熱電偶校準。

一Omega溫度校準器。

熱電偶補償線。

您可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr

外形尺寸

1050 L×440 W×700 H mm

凈重

約70KG

質保期

一年保修，終生技術指標。

特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2、因使用腐蝕氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

真空&法蘭

通過機械泵可達到50m Torr。

通過分子泵泵可達到10E-5 Torr。

可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染。

可選部分

為了方便搭建完整的CVD系統，您可以在我公司購買混氣系統、液相氣體發生氣和石英支架。

質量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/C。E認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所有向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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