半導體／FPD檢查顯微鏡 規格

MX61L

MX61

光學系統

UIS2光學系統（無限遠校正）

機身

觀察方法

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）

照明系統

反射照明

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙

透射照明

纖維光導

對焦單元

電動/手動

手動

行程

32 mm

分辨率/微調靈敏度

微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm

樣本高度

30 mm

物鏡轉換器

電動型

明視場微分干涉6孔

明暗視場微分干涉5孔

明暗視場微分干涉6孔

明暗視場微分干涉中心輸出5孔

手動式

-

載物臺

行程

14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范圍356×284 mm）

8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm

觀察筒

廣角視場
（視場數22）

倒置

雙目/三目觀察筒

正像

三目觀察筒

超寬視場
（視場數26.5）

倒置

三目觀察筒

正像

傾斜三目觀察筒

附件單元

DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm
（標準組合）

509（W）×843（D）×507（H）mm
（標準組合）

重量

51 kg（標準組合）

40 kg（標準組合）