技術應用鏈接:
Tetra 120 LF-PC | 特殊設備
開關柜： 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室： 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容積： 約120 升
氣體供給： MFC 控制的氣體通道
發生器： 40 kHz，13.56 MHz
控制系統： PC 控制系統 (Windows)
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關鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra120
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