特點(diǎn)：
·適用于8”以下樣品的處理
·等離子蝕刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕
·全局的工藝氣體通過氣浴進(jìn)氣實(shí)現(xiàn)了均勻的氣體分布
·電極水冷確保了樣品的溫度不會(huì)偏高
·工業(yè)Windows控制系統(tǒng)，多段程序控制功能，實(shí)現(xiàn)一鍵蝕刻功能
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心等使用，也可小批量生產(chǎn)
規(guī)格
型號(hào) | TETRA 8 RIE |
控制系統(tǒng) | 基于軟件WINDOWS 10的PC控制系統(tǒng) |
程序存儲(chǔ) | 100套 |
工藝過程監(jiān)控 | 二維折線圖與數(shù)字實(shí)時(shí)顯示 |
參數(shù)偏離值設(shè)定 | 初抽真空時(shí)間、進(jìn)氣量偏差值，實(shí)際功率輸出值 |
報(bào)錯(cuò)功能 | 顯示詳細(xì)的報(bào)錯(cuò)信息 |
數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出 | USB/TCP IP |
選程控制 | Team viewer |
工藝氣路 | 兩路進(jìn)氣通道（兩路腐蝕性氣體） 一路沖洗管路 一路泄氣管路 |
流量計(jì) | MFC流量計(jì) |
真空腔體 | 圓形不銹鋼腔體腔體 尺寸：Φ280mm x D 127mm 約8L 腔體可做防腐 |
托盤 | 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃 |
電極 | RIE(蝕刻專用)電極配有氣浴 電極水冷
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冷卻系統(tǒng) | 冷卻真空腔體和電極 |
發(fā)生器 | 13.56 MHz 0-600W 自動(dòng)匹配 |
安全開關(guān) | 門開關(guān)、皮拉尼開關(guān)、真空開關(guān) |
真空壓力計(jì) | 2pcs 電容式真空計(jì) |
外形尺寸(W×H×D) | 1800mm×2200mm×1800mm |
電源 | AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A |
真空泵 | 防腐真空泵抽速不低于90 m³/h 分子泵排氣速度 |
冷卻系統(tǒng) | 冷水機(jī)對(duì)真空腔體，電極進(jìn)行冷卻 |
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