超聲波濕式清洗技術的優點顯而易見:清洗工序成熟, 產生了相關技術手冊, 適合工業生產;對于清洗死角, 傳統清洗效率僅有60%~70%, 高壓水射流清洗也低于90%, 而濕式清洗效率高達98%;超聲波濕式清洗技術應用廣泛, 從事研究人員眾多, 加快了它的發展。同時超聲波濕式清洗的劣勢也很明顯:使用的化學清洗劑滲透能力有限, 清洗不*;工業生產通常要數臺不同頻率的清洗機聯合, 增加成本;設備功率選擇過低不產生空化泡, 過高則容易發生空化腐蝕損壞清洗件;高精密清洗只能用高頻甚至兆頻超聲波清洗, 能耗大不環保。超聲波干式清洗技術解決了這方面的問題:不需要另加清洗劑, 綠色環保;清洗無附加風干設備, 降低成本;清洗頭性能持久, 維護成本低;非接觸式清洗, 被清洗件免受損害;對于1um以上的塵粒去除率接近99%;電子工業中, 無二次污染, 滿足超精密度清洗要求。缺點就是目前國內只實現了超聲波干式清洗機的“半國產化", 超聲波干式清洗頭制造的核心技術仍然被日韓、歐美等發達國家限制。