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勻膠儀旋涂儀

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更新時間:2022-09-13 09:11:13瀏覽次數:188次

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產品簡介

旋轉涂層機/勻膠機/勻膠儀旋涂儀/甩膠機/旋涂機 型號:ZRX-26227產品簡介:ZRX-26227勻膠機旋涂儀 主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。

詳細介紹

詳細介紹

旋轉涂層機/勻膠機/勻膠儀旋涂儀/甩膠機/旋涂機 型號:ZRX-26227

產品簡介:ZRX-26227勻膠儀旋涂儀
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可在科研,教育,生產中應用。



ZRX-26227勻膠機
ZRX-26227勻膠機: 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀26程序控制器:
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;
加速度(及負加速度)。
中英文兩套操作系統供選擇。
操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調試并存儲程序。
設置程序:6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。

*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。

*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 工作腔可氮氣保護。
對所有的環境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,

*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 中心結構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位
一片真空吸盤即可滿足(ZRX-26227適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 真空吸片系統更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統保護性停機。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 伺服電機,轉速精度更高:300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 % 高轉速10000轉/分

單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高
中心定位
利用中心定位板,將基片在機器轉軸中心定位。

中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。



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