產水水質：電阻率≥18.25MΩ

超純水制取工藝：雙級反滲透+EDI+拋光混床； 一級反滲透+混床+拋光混床

產水水量：0.25T/H—1000T/H（按需定制）

進水指標：市政自來水，電導率＜400μs/cm；

其它水源，需有水質報告（據具體情況設計工藝、配置）

工藝流程圖：

、

雙級反滲透+EDI+拋光混床

一級反滲透+混床+拋光混床

工藝說明：

一、機械過濾器

機械過濾器是對原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行去除，同時對原水中的濁度、色度起到降低作用，它可濾掉原水帶來的顆粒、藻類等可見物。

二、活性炭過濾器

活性炭過濾器能去除從前級泄漏過來的小分子有機物、余氯等污染性物質，并吸附異色、異味，進一步降低RO進水的SDI值以及濁度。

三、離子交換器

采用離子交換原理，主要除去水中的鈣、鎂離子，活化水質、防垢除垢。

四、保安過濾器

保安過濾器采用成型的濾材，在壓力的作用下，使原液通過濾材，濾渣留在管壁上，濾液透過濾材流出，從而達到過濾的目的。作用是截留管道和水箱中大于5μm的顆粒進入反滲透系統。

五、反滲透裝置

反滲透技術原理是在高于溶液滲透壓的作用下，依據其他物質不能透過半透膜而將這些物質和水分離開來。反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分，可以有效去除水中的溶解鹽和大部分有機物、微生物等雜質。

六、EDI裝置

電除鹽（EDI），是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被去除的過程。

七、拋光混床

拋光混床又稱一次性混床，一般情況用在工藝末端，用來進一步提高產水水質。

這種拋光混床用樹脂是相對密度很接近的陰樹脂和陽樹脂的混合物，由于無法將這種樹脂的陰、陽樹脂分離，不能用酸堿將它們分別再生，所以這種拋光樹脂失效后，棄之不用。