微電子行業用超純水設備
微電子行業用超純水設備概述
微電子行業對水質要求相對來說更加嚴格,更加高。常要求超純水的電阻值應高于15兆以上。為保證微電子行業用水安全,超純水的處理設備整個系統也都由全不銹鋼材質組合而成,而且在用水點之前都必須裝備殺菌裝置。我們公司從超純水的特點出發,針對不同用戶對超純水的不同要求,采用反滲透,EDI等新工藝,比較有針對性地設計出成套超純水處理工藝,以滿足微電子行業的用水要求。
微電子行業用超純水設備的水質標準
1、2000版藥典標準。
2、GMP標準。
3、電阻率:15M.CM。
4、電導率:0.5S。
5、氨0.3g/ml。
6、硝酸鹽0.06g/ml。
7、重金屬0.5g/ml。
目前微電子行業用超純水設備的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面:
1、種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水經濟,環保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
微電子行業用超純水設備特點
1、產水符合2000版藥典純化水標準,可符合GMP標準。
2、直接用自來水制成土無菌超純水,能*替代蒸餾水及雙蒸水。
3、采用進口泵、反滲膜等優質部件。
4、全自動操作系統,高效自動沖洗。
5、采用進口儀表,能對水質準確、連續分析、顯示。
6、應用于制藥工業用純水,科研大輸液制劑及科研無菌水純化。
微電子行業用超純水設備的工藝流程
微電子行業用超純水設備的工藝大致分成以下幾種
1、原水原水加壓泵多介質過濾器活性炭過濾器軟水器精密過濾器一級反滲透設備中間水箱中間水泵離子交換器純化水箱純水泵紫外線殺菌器微孔過濾器用水點。
2、原水原水加壓泵多介質過濾器活性炭過濾器軟水器精密過濾器級反滲透PH調節中間水箱第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)純化水箱純水泵紫外線殺菌器微孔過濾器用水點。
3、原水原水加壓泵多介質過濾器活性炭過濾器軟水器精密過濾器一級反滲透機中間水箱中間水泵EDI系統純化水箱純水泵紫外線殺菌器微孔過濾器用水點。
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