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半導體晶片超純水設備系統供水管網設計特點

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更新時間:2022-05-23 12:10:57瀏覽次數:250次

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半導體晶片超純水設備系統供水管網設計特點  半導體晶片超純水設備從設計安裝到應用,都是一套完成的體系,得到了廣大客戶的認可,滿足了行業的用水需求。  半導體晶片超純
半導體晶片超純水設備系統供水管網設計特點
  半導體晶片超純水設備從設計安裝到應用,都是一套完成的體系,得到了廣大客戶的認可,滿足了行業的用水需求。
  半導體晶片超純水設備系統供水管網設計特點
  一個完整的超純水設備系統的設計除了生產流程外,供水管網的設計也。管網的設計既要滿足工藝使用點的流量和壓力要求,更要保證生產出的超純水在經過管網的分配輸送后品質不受污染。
  1、選用HP—PVDF(高純度聚偏二氟乙烯)的管材和閥門管件,采用紅外線熱融連接,盡可能避免管道材料中的雜質溶出污染水質。
  2、供水主管路流速控制在1.2~2.4m/s,回水主管路流速控制在~1m/s,減少超純水在循環管網內的停留時間,抑制有機物和細菌數的升高。

  3、避免出現流體死角滋生細菌。可能產生流體死角的長度不得超過后段管道直徑的1.5倍。設計中選用隔膜閥既便于調節流量,又可避免出現流體死角;選用異徑三通代替等徑三通加異徑管也是一項有效措施。
  4、在每一路支管的根部設計殺菌消毒接口和排放口,可以在某一路支管受到污染時及時處理,避免影響整個管網。殺菌消毒可選用臭氧或雙氧水。早期設計的管網一般為一供一回形式,在實際操作運行過程中發現供水的流量和壓力較難調節,容易出現管網近端大量用水時遠端工藝使用點的流量和壓力難以保證的情況。在本設計中采用壓力回水的方式可有效防止上述情形的發生。



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