電子半導體行業用超純水設備工作原理和工藝
海德能北京水處理設備公司提供的電子半導體行業用超純水設備需用大量的高純水,電子半導體的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。海德能可以滿足您的需求。
電子半導體行業用超純水設備工作原理
1、水進入純化系統,主要部分流入樹脂/膜內部,而另一部分沿模板外側流動,以洗去透出膜外的離子。
2、樹脂截留水中的溶存離子。
3、被截留的離子在電極作用下,陰離子向正極方向運動,陽離子向負極方向運動。
4、陽離子透過陽離子膜,排出樹脂/膜之外。
5、陰離子透過陰離子膜,排出樹脂/膜之外。
6、濃縮了的離子從廢水流路中排出。
7、去離子水從樹脂/膜內流出。
電子半導體行業用超純水設備制備工藝
1、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
2、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
3、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
4、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
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