型號：GSL-1700X-F3LV
產品概述：GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
| 管式爐結構 | · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 | ||||||
| 加熱元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | ||||||
| 工作溫度 | 1650℃（<2h）（更新時間：19.12.10--JS2） 1600℃（長期工作溫度） | ||||||
| 升溫速率 | 5℃/min | ||||||
| 降溫速率 | 5℃/min | ||||||
| 加熱區長度 | 455mm (18") | ||||||
| 溫控系統 | · 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR · 可設置30段升降溫程序. · 控溫儀表操作視頻 帶有過熱和斷偶保護 | ||||||
| 控溫精度 | +/-1℃ | ||||||
| 爐管材質和尺寸 | · 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 · （標配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L （選配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L | ||||||
| 密封法蘭 | · 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門 · 通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr 泄漏率6 mtorr/min | ||||||
| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：5KW | ||||||
| 真空泵和配件 |
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| 氣體流量計 | · 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. · 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ，來監測混合氣體的壓力 · 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
Front Panel Back Panel Gas Routes | ||||||
| 運輸信息 |
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| 質保期 | 一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件 | ||||||
| 質量認證 |
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環保在線