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成都松盛測控技術有限公司
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數字式小量程熱式氣體質量流量控制器/流量計DC-S030C/M主要應用在量程范圍從5SCCM--50SLM之間氣體流量的測量和控制，產品耐壓能達5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩定、耐壓高、線性度好等優點，適用于絕大多數干燥、干凈的氣體（及少數腐蝕性氣體）。
數字式小量程熱式氣體質量流量控制器/流量計DC-S030C/M主要應用在量程范圍從5SCCM--50SLM之間氣體流量的測量和控制，產品耐壓能達5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩定、耐壓高、線性度好等優點，適用于絕大多數干燥、干凈的氣體（及少數腐蝕性氣體）。
性能特點：
1、響應速度快 2、耐壓5Mpa
3、抗干擾性強 4、數字通信模式
5、流量控制精準 6、數據傳輸距離遠
技術參數：
氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘） SLM（標準升每分鐘）
標準狀況：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號 | DC-S030C | DC-S030M |
流量規格 | 5SCCM---50SLM | |
控制量程（N2) | 2—99% | 1—99% |
精度 | ≤±1%F.S | |
線性 | ≤±0.5%F.S | |
重復性 | ≤±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應時間 | 1—2S | |
耐壓 | 50Bar | |
通訊信號 | 模擬通訊 0—5V或4—20mA 數字通訊 RS485 | |
供電方式 | ﹢14VDC—27VDC（300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
數字式小量程熱式氣體質量流量控制器/流量計DC-S030C/M應用行業：廣泛應用于石油化工、大學實驗室、研究所、航空航天、食品制造業、醫藥 制造業、火電、核電、天然氣加氣站、半導體、太陽能、 液晶面板制造等行業的高科技公司。根據使用介質，選定丁晴橡膠或氟橡膠等不同的密封材質，接頭連接方式靈活多樣，可按照用戶使用定制。
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