熱機械分析儀(Thermal Mechanical Analyzer) 為材料科學最基本的測量工具之一。TMA能測量出各種不同材質樣品非常微量的尺寸變化、應力應變、潛變復原與機械黏彈性等多種數據。舉凡是材料，其膨脹收縮、尺寸安定性的測量，進一步到復合材料如電路板的剝離、電子芯片封裝、材料曲翹等現象，各種材料尺寸會隨溫度而變化的產品，經由TMA獲得的材料特性對于各種產品設計及制程都能提供極為重要的測量信息。
| 溫度范圍 | RT to 1500℃ |
|---|---|
| 升溫速率 | 0.01 to 100℃/min |
| Tube | 陶瓷、石英 |
| Probe | 陶瓷膨脹 石英膨脹（~1000℃） 石英穿刺（~1000℃） 石英拉伸（~600℃） 石英拉伸（~500℃） |
| TMA 量測范圍 | ±5mm |
| RMS噪聲/敏感度 | 0.005um/0.01um |
| 施力范圍/分辨率 | ±1.47N/9.8uN |
| 樣品尺寸 | 膨脹：D 10 x L 25mm |
| 樣品長度量測 | 自動量測 |
| 應力控制模式 | Constant：+/- 5.8N Constant rate loading：9.8 x 10-2 to 9.8 x106 mN/min Sinusoidal loading：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
| 應變控制模式 | Constant：+/- 5000um Constant rate strain loading：0.01 to 106 um/min Sinusoidal strain Control：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
? 高分子材料(TMA/SS)
? 金屬材料(TMA/SS)
? 陶瓷材料(TMA/SS)
? 電子光電材料(TMA/SS)
? 奈米材料(TMA/SS)
? 金屬材料(TMA/SS)
? 陶瓷材料(TMA/SS)
? 電子光電材料(TMA/SS)
? 奈米材料(TMA/SS)
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