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硅片厚度測試儀 SIT-200

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更新時間：2021-08-20 12:55:09瀏覽次數：543次

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產品簡介

產品介紹：波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量，從而實現高動態范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器之后由PD檢

詳細介紹

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產品介紹：

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量，從而實現高動態范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標表面和背面的反射形成的干涉圖案。

產品特點：

l 用于硅晶圓的全光學，非接觸式厚度傳感器

l 高動態范圍，能夠測量無序表面

l 能夠在濕法蝕刻期間進行原位測量

產品應用：

l 硅片厚度測量

產品參數：

主要技術指標		硅片厚度測試傳感器（SIT-200）
主要技術指標		SIT-200
測試功能	-	硅片厚度
厚度測試范圍	um	10~500（n=3.5）
激光器	nm	波長掃描激光器，1515nm-1585nm
光輸出功率	mW	0.6（Class 1）
引導光源（基準光源）	-	RED LD，Laser class 1M
測試時間	ms	≥20
重復率	um	＜0.1（3σ）
監控輸出	-	干擾信號（電信號）
程控接口	-	Ethernet（網口）
電源	-	AC100-240V（50/60Hz）
尺寸（WxHxD）	mm	364x147x391
重量	Kg	9.0
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