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產品介紹:波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量,從而實現高動態范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。 波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器之后由PD檢
產品介紹:
波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量,從而實現高動態范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。 波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標表面和背面的反射形成的干涉圖案。
產品特點:
l 用于硅晶圓的全光學,非接觸式厚度傳感器
l 高動態范圍,能夠測量無序表面
l 能夠在濕法蝕刻期間進行原位測量
產品應用:
l 硅片厚度測量
產品參數:
主要技術指標 | 硅片厚度測試傳感器(SIT-200) | |
SIT-200 | ||
測試功能 | - | 硅片厚度 |
厚度測試范圍 | um | 10~500(n=3.5) |
激光器 | nm | 波長掃描激光器,1515nm-1585nm |
光輸出功率 | mW | 0.6(Class 1) |
引導光源(基準光源) | - | RED LD,Laser class 1M |
測試時間 | ms | ≥20 |
重復率 | um | <0.1(3σ) |
監控輸出 | - | 干擾信號(電信號) |
程控接口 | - | Ethernet(網口) |
電源 | - | AC100-240V(50/60Hz) |
尺寸(WxHxD) | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
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