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硅片厚度測試儀 SIT-200

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更新時間:2021-08-20 12:55:09瀏覽次數:543次

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產品簡介

產品介紹:波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量,從而實現高動態范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。 波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器之后由PD檢

詳細介紹

詳細信息

產品介紹:

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量,從而實現高動態范圍,甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量,例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。 波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標表面和背面的反射形成的干涉圖案。

產品特點:

用于硅晶圓的全光學,非接觸式厚度傳感器

高動態范圍,能夠測量無序表面

能夠在濕法蝕刻期間進行原位測量

產品應用:

硅片厚度測量

產品參數:

主要技術指標

硅片厚度測試傳感器(SIT-200)

SIT-200

測試功能

-

硅片厚度

厚度測試范圍

um

10~500(n=3.5)

激光器

nm

波長掃描激光器,1515nm-1585nm

光輸出功率

mW

0.6(Class 1)

引導光源(基準光源)

-

RED LD,Laser class 1M

測試時間

ms

≥20

重復率

um

<0.1(3σ)

監控輸出

-

干擾信號(電信號)

程控接口

-

Ethernet(網口)

電源

-

AC100-240V(50/60Hz)

尺寸(WxHxD)

mm

364x147x391

重量

Kg

9.0

其他說明

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關鍵詞:傳感器

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