MCY2005  壓阻真空測量儀是單片微機控制的智能儀器，采用不同量程的壓阻真空規管，用于測量101～0.01KPa。由于壓阻規管輸出電壓是真空度的線性函數，因此在上述范圍內，其測量精度和線性度很好，而且規管結構牢靠，使用**長，是比較理想的粗低真空測量儀器。特別值得一提的是這種規管還可以作為壓力傳感器使用，對于需要真空度、壓力連續測量的場合極為適用。

1 . 主要技術指標：

1.1  測量范圍：                 101～0.01KPa

                                               100～0.1KPa ±5‰±1字(滿度誤差)

1.2  配用規管：                 YZG-15A壓阻規管

1.3  電源電壓：                 交流220V   50Hz

1.4  使用環境：                 5 - 30℃   濕度 < 80%

1.5  外形尺寸：                96×96×140mm

          開孔尺寸：        92×92mm2

2.工作原理和使用方法 ：

2.1  工作原理：

壓阻真空規管是利用單晶硅的壓阻效應制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體，按特定晶面，根據不同的受力形式分別加工成彈性應變元件，在彈性應變元件的適當位置，用集成電路工藝技術擴散四個等值電阻，組成惠斯登電橋。當不受壓力作用時，電橋處于平衡狀態；當受到壓力作用時，一對橋臂電阻變大，另一對變小，電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓)，便輸出對應于所加壓力的電壓信號，從而達到測量氣體壓力的目的。

由于這種傳感器的感受、**和檢測三部分同由一個元件實現，沒有中間轉換環節，所以不重復性和遲滯等誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性度，因此綜合精度**。

本儀器配套的YZ、YZG系采用美國**的OEM管芯組裝。YZ型壓阻規管系普通型絕壓管芯，YZG型壓阻規管系帶隔離膜封裝的絕壓管芯，用于有腐蝕性氣體及要求比較高的場合。

本儀器提供了壓阻真空規管工作所**須的恒流源，并接收規管送出的壓力信號。所有的調零、調滿度等均由軟件完成，并且用軟件對規管電流源的微小變化進行補償，擴大了規管的測量范圍。使用**方便。

儀器前面板如圖一所示：

圖1.儀器前面板示意圖

圖中：

1. 顯示器：    用于顯示真空度數值，恒流電流值，輸出電壓值。

2. 單位指示燈

3. 增量按鈕

4. 移位按鈕

5. 減量按鈕

6. 確認按鈕

2.2 儀器使用方法：

2.2.1 正常顯示方式：

開啟儀器后，儀器顯示真空度。單位是KPa。按動移位按鈕可改變真空度的單位，相應的單位指示燈亮。

按組合鍵1（按［ENT鍵］后放手，再按［減量鍵］），可使儀器顯示輸出電壓值，單位為mV。再按一次這組鍵，可以使儀器顯示規管恒流電流值。第三次按這組鍵則返回真空度。

2.2.2 設置控制觸點動作真空度的方法：

按組合鍵2（按［ENT鍵］后放手，再按［增量鍵］），顯示器左端顯示“1"，表示此后將顯示控制觸點1的動作真空度。數秒鐘后，顯示器顯示原先設定的值。**高位作有規律的閃爍。如果顯示的動作真空度數量級不正確，則首先應調整數量級。連續按增量鍵數次，**高位由9進位時，設定的動作真空度數量級加一。重復這一過程，數量級不斷增加，直到100kPa.

按減量鍵數次，當**高位由1退位時，設定的動作真空度數量級減一，重復這一過程，數量級不斷減少，直到0.1Pa數量級。

數量級調整完畢后，**整設定的動作真空度的各位。顯示器上不斷閃爍的這一位可以改變。按動增量鍵可執行加一操作，按動減量鍵可執行減一操作。按動移位鍵可以使下一位閃爍。修改完畢后**要按ENT鍵一次，把它送入儀器內部保存。

按ENT鍵后，設定的控制觸點1的動作真空度將保存在儀器內部。

這時顯示器左端顯示“2"，表示此后將顯示控制觸點2的動作真空度。可以按照調整控制觸點1的動作真空度的方法進行調整。

2.2.3 校準規管高真空時的零點的方法：

儀器初次使用或**換新規管或當規管封接于高真空環境時，儀器顯示不為零，或者儀器的顯示發生閃爍，說明儀器需要校零。

當規管封接于高真空環境時，若真空度優于1Pa,可以校準規管的零點。方法是：開機穩定半小時后，按組合鍵3（按［ENT鍵］后放手，再按［移位鍵］后放手）三次。儀器顯示“CAL0"。等待數秒后，“CAL0"開始閃爍，此時按下“ENT"鍵，儀器自動校準零點。如不需校準零點或錯誤進入了校零模式，操作者可不用按**鍵，“CAL0"閃爍數秒后，會自動回到測量顯示模式。

2.2.4 校準規管滿度的方法：

一般不需校準儀器的滿度。儀器初次使用或儀器偏離滿度過多或**換新規管后，可校準儀器滿度。當系統暴露**時（對于YZ—2、YZG—2壓阻規管），或者規管處于35Kpa 的真空度中（對于YZ—3、YZG—3壓阻規管），確認規管聯接無誤。開機穩定半小時后，按組合鍵3（按［ENT鍵］后放手，再按［移位鍵］后放手）三次，儀器進入校零模式。在儀器顯示閃爍以前，按下除“ENT"鍵以外的任一鍵，儀器顯示“FILL"，幾秒后儀器進入設定滿度狀態。根據所處地區**壓，手工設定，操作方法同2.2.2。設定完后，按下“ENT"鍵。儀器完成滿度校準。顯示為101kPa，或者35KPa。**須注意，對儀器設定和校準滿度時，**須確認規管處于該規管的滿度壓強下，否則將嚴重影響儀器的測量精度。

3. 儀器電源及規管聯接

儀器電纜與機箱聯接采用接線柱聯接。儀器后面板接線柱排列如圖2所示：

圖2. 儀器后面板示意圖

圖中：

25（L）：                               接電源相線

24（N）：                              接電源零線

23（GND）：                              接電源地線

CX164FG：                           壓阻規管插座

22～17：                                   J1、J2繼電器輸出端

4.規管聯接要求：

一般情況下，規管應垂直或水平安裝。安裝后一般不要轉動或變動規管位置。

5. 維護、儲存和運輸

5.1 本設備在使用過程中**須正確操作和維護，并防止灰塵與潮氣侵入。

5.2 在長期使用后應作內部檢查，**內部所積塵污。

5.3 設備應存放在環境溫度為+10～35 ℃，相對濕度<80%和無腐蝕性氣體及油蒸汽， 強烈電磁場與機械振動，并具有良好通風的室內。

5.4 運輸時設備應裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內，包裝好的設備與箱壁間應放有清潔干燥的防振物，運輸箱外應標有"向上"，"小心輕放"等標記。