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EVG 510晶圓鍵合系統

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更新時間:2024-04-27 07:31:00瀏覽次數:187次

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EVG 510是一款靈活的晶圓鍵合系統,支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見的晶圓鍵合工藝。比EVG501擁有更多的溫度、壓力選擇。

產品簡介:

EVG 510是一款靈活的晶圓鍵合系統,支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿料中間層鍵合、熔融鍵合、硅硅直接鍵合等常見的晶圓鍵合工藝。比EVG501擁有更多的溫度、壓力選擇。

 

主要特點及參數:

·支持8英寸(200mm)晶圓

·支持從單芯片鍵合到晶圓鍵合

·鍵合壓力:60KN

·鍵合溫度:550℃(可選配至650℃)

·真空度:0.1mbar(可選配至10-5mbar)

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