日本azbil熱式微型液體流量計F7M
特征
通過將熱敏 MEMS 傳感器與高耐腐蝕石英玻璃流路相結合，我們實現了數 mL/min 的微量液體流量測量，這是使用傳統測量方法難以測量的高再現性。
開發理念易于使用，因為它不易受流體狀態變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響，并且易于針對被測流體進行校正（校正基于熱導率流體）。通過測量瞬時流量和累計流量代替泵轉速、重量測量和流體供應時間管理等替代方法，可以根據更可靠的測量值在制造過程中進行質量控制和過程異常檢測。
可測0.1mL/min
采用利用MEMS傳感技術的熱測量原理，可以測量過去難以穩定測量的幾mL/min的微小流量。
（測量流量范圍：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）
體積小、重量輕、安裝方便
它比傳統產品更小、更輕。
不需要單獨的轉換器（放大器）。
它可以使用隨附的安裝支架從頂面（用于水平管道）輕松安裝。
也可安裝在垂直管道中（流向：底部→頂部）。
直線流道
由于流道是直的，壓力損失小，無積液，清洗方便。
通用性高
符合IP65防護結構。
由于產品外表面未使用金屬材料，因此可用于易受液體飛濺的環境，提高了對腐蝕性流體的耐受性。
接液部分由石英玻璃（流路）和氟樹脂（接頭）組成，傳感器不與液體接觸，因此可用于多種流體（不腐蝕石英玻璃或聚四氟乙烯的流體）。
日本azbil熱式微型液體流量計F7M
 | | 產品型號 | F7M9010 | F7M9030 | F7M9050 | | 測量流量范圍（流體為水（H2O）時） | 0.1 至 10 毫升/分鐘 | 0.3 至 30 毫升/分鐘 | 0.5–50 毫升/分鐘 | | 測量精度 | ± 5 %RD（流量范圍的 20 % 或更多），± 1 % FS（小于流量范圍的 20 %）
標準條件 * 1 表示基于我們的液體流量標準的體積流量的儀器誤差。 | | 重復性 | ± 1 %RD（流量范圍的 20 % 或更多），± 0.2 % FS（小于流量范圍的 20 %）
標準條件 * 1. 儀器誤差隨體積流量的變化基于我們的液體流量標準。 | | 可測流體 | 不堵塞流路且不腐蝕或損壞石英玻璃或聚四氟乙烯 (PFA) 的流體 水 (H2O) 以外的流體會改變測量范圍。 | | 準確性/可重復性保證流體 | 水（H2O） | | 精度/重復性保證流量范圍（當流體為水（H2O）時） | 0.2 至 10mL/分鐘 | 0.6 至 30 毫升/分鐘 | 1.0 至 50 毫升/分鐘 | | 溫度特性（流體與周圍沒有溫差的條件） | 當流體溫度和環境溫度都在 10 至 35°C 的范圍內且兩者相同時，與標準條件*1 的輸出值相比，±0.5% RD/°C 以內。 | | 流體溫度范圍（保證工作范圍） | 5 至 50°C（不結冰） | | 環境溫度范圍（保證工作范圍） | 5 至 50°C（無結露或結冰），運輸/儲存溫度 5 至 60°C | | 環境濕度范圍（保證工作范圍） | 10 至 90 %RH（無冷凝） | | 流體壓力范圍 | 0 至 500 kPa | | 耐壓性 | 700 千帕 | | 安裝姿勢 | 臥式安裝或立式安裝（流向為自下而上）*2 | | 直管長度 | 50mm（流體為水（H2O）時） | | 接頭抗拉強度 | 30N | | 驅動電源電壓 | DC24V±10% 0.7W以下 | | 輸出信號 | 瞬時流量輸出：1點 1～5V DC*3（外部負載電阻：250kΩ以上，最大輸出電壓：5.6V）
外部接點輸出（集電極開路）：1點（事件輸出或積分脈沖*4） 30 V DC, 30 mA 小于 | | 外部接點輸入 | 1點 無電壓接點或集電極開路
允許ON接觸電阻：250Ω以下
允許OFF接觸電阻：100kΩ以上
允許ON殘留電壓：0.8V以下
ON時端子電流：0.5mA（接觸電阻250Ω時） | | 大量的 | 85g（包括安裝支架，不包括電纜） | | 保護結構 | IP65 | | 符合標準 | EN61326-1, EN61326-2-3 | 有關產品規格的詳細信息，請參閱詳細的使用說明書（CP-SP-1421）。
*1 標準條件是環境溫度和流體溫度均為 23°C 的條件。關于左側以外的條件，請與我們聯系。
*2 垂直安裝時，與水平安裝時相比，測量值的輸出偏移約為±1 % RD。
*3 當流量低于最小可測量流量范圍時，輸出信號固定為 0% (1 V)。
它還輸出高達測量流量范圍的 115% (5.6 V)。
*4 需要 PC 加載程序來更改參數設置。 |
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