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日本fcon質量流量控制器/儀表1000系列
特征
● 專攻質量流量控制器基本功能的低價機型。 |
日本fcon質量流量控制器/儀表1000系列
規格
| 型號：質量流量控制器 | C1005 | C1020 | C1030 / C1050 | C1100 |
|---|---|---|---|---|
| 型號：質量流量計 | M1005 | M1020 | M1030 / M1050 | ―――― |
| 流量（N2轉化流量） | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM | 10,20SLM | 30,50SLM | 100LM |
| 對應氣體類型 | 各種氣體（腐蝕性氣體請聯系我們） | 空氣 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He | 空氣 / N2 | |
| 閥門類型 | NO：常開（不適用于儀表） | |||
| 控制流量范圍 | 5-99% FS（不適用于儀表） | |||
| 流量精度 | ± 2% FS [* ± 1% FS 可用]（精度保證范圍 15-35 °C） * 詳情請聯系我們。 | |||
| 流量設定信號 | 0.25 至 5VDC（不適用于儀表） | |||
| 流量輸出信號 | 0-5VDC | |||
| 再現性 | ± 0.2% FS | ± 0.5% FS | ||
| 響應時間 | ≤ 6 秒 | ≤15秒 | ||
| 所需壓差 | 50-300KPa | 200-300KPa | ||
| 耐壓 | 1MPa (G) | |||
| 保證工作溫度 | 5-50℃，85%RH以下 | |||
| 外漏 | 1 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He | |||
| 安裝姿勢 | 未規定（免費） | |||
| 供電電壓、電流消耗 | + 15VDC：60mA，-15VDC：150mA | |||
| 通訊方式 | 模擬：0-5VDC | |||
| 氣體接觸材料質量 | SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡膠 | |||
| 密封材料質量 | 氟橡膠 | |||
| 執行器方式 | 熱量（不適用于儀表） | |||
| 表面處理 | 機加工 | |||
| 連接配件 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）、一鍵式接頭和其他接頭形狀，請聯系我們。 | |||
* 流量單位“SCCM，SLM"為0℃，1013kPa abs（1atm）標定。
* 請說明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校準流量單位“CCM, LM"。
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