Edwards nXDS 渦旋真空泵在傳統 XDS渦旋泵的基礎上進行改進，提高了抽速，降低了極限壓力、功耗和噪音。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 渦旋泵還采用了新的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能，nXDS 渦旋泵可*進行現場維修。

渦旋真空泵特點

真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

簡單的單側滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本

*的接口提供了各種傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視

應用

一般清潔泵送應用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環

稀有氣體回收

冷凍制造

研發

旋轉離心蒸發器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

技術規格