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*PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

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產品簡介

*PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
并聯測量技術可實現導向誤差的自動化補償
分辨率50皮米
行程5微米×5微米×5微米
真空兼容版本

詳細介紹

*PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

品牌：PI(Physik Instrumente)
品牌公司簡介：
德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

產品應用領域：
半導體制造
醫學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

產品系列：
納米定位壓電彎曲平臺

微型平臺

線性平臺

線性執行器

旋轉平臺

XY位移平臺

六足位移臺

設計系統

快速多通道光子學對準

訂購信息：

P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、*穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

*PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

關鍵詞：位移臺傳感器

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